Магистерская диссертация на тему: Анализ состояния сканирующей электронной микроскопии. Значение, типы, марки, классификация

Введение

Для современной электроники характерен постоянно ускоряющийся переход к применению мате риалов, элементной базы и комплектующих изделий, использующих свойства на пользующих свойства наноразмерных структур. Все большее значение приобретают изделия и устройства, в которых не менее двух координатных измерений соответствуют размерам, на которых проявляются квантовые эффекты. Обычно такие размеры составляют от единиц до десятков нанометров.

Одним из направлений получения наноструктур является их синтез в ходе эпитаксиального выращивания кристалла. Ярким примером может служить бурно развивающееся в последние годы направление по выращиванию полупроводниковых структур с массивами "квантовых точек". Продемонстрированные здесь преимущества и гибкость метода молекулярно-пучковой эпитаксии позволили получить приборные светоизлучающие структуры для поверхностно-излучающих лазеров. Разнообразие получаемых нанообъектов с каждым днем растет, причем часть нанообъектов неожиданны, но чрезвычайно востребованы. Так, разработка эпитаксиального роста вискеров для трехмерных схем привела к появлению нового продукта - нановолокон, заметно увеличивающих прочность композиционных материалов, а также находящих применение при производстве косметики.

Вторым направлением получения электронных нанообъектов являются локальные методы воздействия на планарную структуру, к которым, прежде всего, относятся зондовые методы, а также фокусированный ионный пучок.

Указанные методы обеспечивают ранее недостижимые возможности программируемого локального воздействия на кристалл в наноразмерном и даже атомном масштабе в сочетании с уникальной визуализацией процесса воздействия в масштабе до единиц ангстрем [5].

В связи с этим в настоящее время широко применяют сканирующие зондовые микроскопы. Они установлены в ведущих нанотехнологических центрах России, таких как:

Институт кристаллографии РАН;

Московский физико-технический институт (государственный университет);

Южный Федеральный университет (бывший Таганрогский радиотехнический университет).

Оглавление

- Введение

- Анализ состояния сканирующей электронной микроскопии

- Назначение, типы, марки, классификация сканирующей электронной микроскопии

- Устройство и работа сканирующего электронного микроскопа

- Основные характеристики современных сканирующих электронных микроскопов

- Микроскоп VEGA 3 LМ

- Перспективы совершенствования сканирующих электронных микроскопов Заключение

- Список использованных источников

Список литературы

1. Ясников И.С., Нагорнов Ю.С. Сканирующая электронная микроскопия как метод изучения микроскопических объектов электролитического происхождения // Фундаментальные исследования. Пенза. 2013. Вып.1. - С.758-764.

. Дмитриевский А.А., Ефремова Н.Ю. Электронная микроскопия и механические свойства структур ALN/SI // Вестник тамбовского университета. Тамбов. 2010. Вып.1. - С.213-215.

. Фоменко О.Ю., Ледяева О.Н. Применение сканирующей электронной микроскопии в решении актуальных проблем материаловедения // Журнал сибирского федерального университета. Красноярск. 2009. Вып.2. - С.287-293.

. Хохряков С.В., Валеев Р.Г. Электронно-микроскопические и рентгенодифракционные исследования наноструктур на основе zns в пористых матрицах оксида алюминия // Вестник удмурдского университета.

Ижевск. 2011. Вып.2. - С.8-11.

. Быков В.А. Разработка и освоение производства приборов и оборудования для нанотехнологии // Российские нанотехнологии. Москва. 2007. Вып.1. - С.32-36.

6. Российская национальная нанотехнологическая сеть [Электронный ресурс]. - Режим доступа: <http://www.rusnanonet.ru>. - Инструменты нанотехнологий.

. Российская национальная нанотехнологическая сеть [Электронный ресурс]. - Режим доступа: <http://www.rusnanonet.ru>. - Просвечивающие электронные микроскопы.

. Российская национальная нанотехнологическая сеть [Электронный ресурс]. - Режим доступа: <http://www.rusnanonet.ru>. - Сканирующие гелиево-ионные микроскопы.

. Российская национальная нанотехнологическая сеть [Электронный ресурс]. - Режим доступа: <http://www.rusnanonet.ru>. - Сканирующие электронные микроскопы.

. Видеть невидимое - все о микроскопах [Электронный ресурс]. - Режим доступа: <http://www.mikroskope.ru>. - Электронный микроскоп.

. Российская национальная нанотехнологическая сеть [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://www.rusnanonet.ru. - VEGA 3 LМ - сканирующий электронный микроскоп.